六氟乙烷的制备与提纯技术研究进展

摘要：

六氟乙烷性质稳定,可用作半导体制造过程中的蚀刻剂和清洗剂.六氟乙烷的制备方法主要有直接氟化法、金属氟化物氟化法、氟化氢氟化法和其他方法等.随着电子行业的发展,对六氟乙烷的纯度要求也越来越高,因此在工业生产中采用精馏、吸附、化学转化及多种方法联合的方法对六氟乙烷进行纯化.主要对六氟乙烷的制备与提纯技术进行了归类总结,具有一定的参考价值和指导意义.

关键词：六氟乙烷、制备、纯化

所属期刊栏目：41

分类号：TQ117

资助基金：郑洛新自创区产业集群专项201200211600

在线出版日期：2023-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,32