10.3969/j.issn.1007-7804.2022.06.004
浅述二碘硅烷的合成研究进展
在大规模集成电路制程中,二碘硅烷作为硅前驱体可以在众多基材上进行气相沉积,被列为从10 nm线宽跨越到6 nm线宽制程的关键硅源物质.对二碘硅烷的制备和纯化方法进行归纳和总结,为国内高纯二碘硅烷的研发和生产提供参考,促进国内硅源前驱体的发展.
二碘硅烷、性质、合成
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TQ264.1(基本有机化学工业)
2023-01-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
13-15,46