电子级二氟甲烷的纯化研制

摘要：

对电子级二氟甲烷的用途及发展进行了简述,介绍了现有的纯化技术.针对现有技术的不足,自主研发二氟甲烷纯化技术,采用三级吸附与二级精馏相结合的方式获得5N以上的电子级产品,并实现了批量供应,产品满足半导体行业的使用要求.

关键词：电子级、纯化、吸附、精馏

所属期刊栏目：40

分类号：TQ2;TQ117(基本有机化学工业)

在线出版日期：2022-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45