10.3969/j.issn.1007-7804.2022.05.005
高纯电子混合气的制备
总结了高纯电子混合气在质量和制备技术方面的最新进展.由于气体纯化和充装技术的进步,使混合气纯度更高,浓度相对偏差要求更低.在制备方面,自动化和批量化在重量法、压力法和质量流量比法等配气方法上的应用都有较大进展.
混合气、制备、自动、批量
40
TQ117
2022-12-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
19-21
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10.3969/j.issn.1007-7804.2022.05.005
混合气、制备、自动、批量
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TQ117
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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