10.3969/j.issn.1007-7804.2022.03.010
GC-AED在高纯磷烷特种气体杂质分析检测领域的研究应用
对GC-AED光谱分析检测技术在高纯特气分析检测领域做了应用研究,首次在国内实现高纯磷烷中锗烷杂质的分析检测,锗烷检出限低于0.5×10-9,为高迁移率电子器件及探测器外延应用提供有效指导.
GC-AED(色谱-原子发射光谱检测器)、磷烷、锗烷、砷烷
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TQ117
2022-07-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
38-41
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10.3969/j.issn.1007-7804.2022.03.010
GC-AED(色谱-原子发射光谱检测器)、磷烷、锗烷、砷烷
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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