10.3969/j.issn.1007-7804.2022.01.002
砷烷的合成与纯化
砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料.由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作.在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展.
砷烷、电解、纯化
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TQ117
2022-04-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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砷烷、电解、纯化
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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