10.3969/j.issn.1007-7804.2021.06.001
三氟化硼制备及纯化进展
三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯.
三氟化硼;电子气体;制备;纯化
39
TQ117
2022-02-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1-4,24
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10.3969/j.issn.1007-7804.2021.06.001
三氟化硼;电子气体;制备;纯化
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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