电子级高纯乙炔的纯化工艺

摘要：

乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C2 H2(体积分数≥99.99％)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜.为满足半导体工业对电子级高纯乙炔的需求,需要对工业乙炔进行纯化,通过吸附和吸收解吸实验进行乙炔的纯化,得到符合要求的电子级高纯乙炔.

关键词：电子级高纯乙炔;纯化;吸附;吸收;解吸

所属期刊栏目：39

分类号：TQ117

在线出版日期：2021-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25