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10.3969/j.issn.1007-7804.2021.05.004

砷烷纯化的进展

引用
以砷化锌为原料制备砷烷(AsH3)是制备砷烷的一种重要途径,高纯度AsH3作为一种常用的电子特气在半导体集成电路中发挥着重要的作用,并广泛应用于太阳能电池和其他有机砷化物的合成,具有一定研究基础和重要的工业价值.在过去的几十年里,在AsH3的纯化上取得了重大进展.文章对砷烷纯化进行了简要的总结,包括提纯原料、设备设计和产品提纯,同时对AsH3纯化的发展前景做出了展望.

砷烷;半导体;纯化

39

TQ117

2021-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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低温与特气

1007-7804

21-1278/TQ

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2021,39(5)

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