砷烷纯化的进展

摘要：

以砷化锌为原料制备砷烷(AsH3)是制备砷烷的一种重要途径,高纯度AsH3作为一种常用的电子特气在半导体集成电路中发挥着重要的作用,并广泛应用于太阳能电池和其他有机砷化物的合成,具有一定研究基础和重要的工业价值.在过去的几十年里,在AsH3的纯化上取得了重大进展.文章对砷烷纯化进行了简要的总结,包括提纯原料、设备设计和产品提纯,同时对AsH3纯化的发展前景做出了展望.

关键词：砷烷;半导体;纯化

所属期刊栏目：39

分类号：TQ117

在线出版日期：2021-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13