高纯气体检测系统的研发

摘要：

超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支.其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科.随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新的要求,而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究、研制与生产都提出了更高的要求.经过多年的研发,采用脉冲放电氦离子化检测器,六阀六柱气路分析流程,运用中心切割和反吹分析技术,各组分检测限可达10-9级别,这一方案的研发设计有效的指导生产工艺的控制与改革,确保产品质量.

关键词：超纯气体、高纯气体、检测分析、痕量、脉冲放电氦离子化检测器、中心切割、反吹

所属期刊栏目：39

分类号：TQ117

在线出版日期：2021-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：39-49