电子气体氨气分析系统的研究

摘要：

氨气是半导体工业中的重要电子气体,常有电子级、光电子级、7N光电子级三个级别,其作为一种理想的氮源在半导体和化合物半导体器件制造中广泛应用.随着科技的发展进步,电子产品、新型节能照明器件、清洁能源等的需求日益增大,对于氨气的纯度要求也越来越高.氨中的任何杂质组分的含量稍微超出其行业规定的最低含量,都将给产品的性能带来致命的影响,从而影响产品的良品率和成品率.而氨中的杂质组分氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的含量均为10-9级别,需要用气相色谱仪精确的检测其中的杂质组分,为此,设计出一种用于氨气分析检测的气路流程系统,可以高效的分离氨气中的各种杂质组分,定性定量准确,分析周期短.

关键词：氨气、半导体工业、组分含量、分析系统、检测限

所属期刊栏目：39

分类号：TQ117

在线出版日期：2021-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38