六氟化硫中杂质含量测量不确定度评定

摘要：

采用氦离子化气相色谱法和光腔衰荡法依照国家标准GB/T 18867—2014《电子工业用气体六氟化硫》测定六氟化硫中杂质气体含量和水分含量,通过分析测量过程中不确定度的来源,对各不确定度分量进行评定及结果判断.评定结果表明:六氟化硫中杂质气体含量的测量不确定度主要来源于标准气体.

关键词：六氟化硫、气相色谱法、不确定度

所属期刊栏目：39

分类号：O657.7(分析化学)

在线出版日期：2021-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-33,54