高纯溴化氢的制备及纯化技术研究进展

摘要：

高纯溴化氢是一种理想的氟碳类蚀刻气体的替代品,其具有优异的蚀刻性能,被用于新一代微电子工业.综述了溴化氢的的制备工艺及纯化方法.在实际生产中,优先选用燃烧法制备溴化氢,再根据杂质种类和含量选择合适的纯化方法,得到高纯度的溴化氢产品.

关键词：高纯溴化氢、制备、吸附、精馏

所属期刊栏目：39

分类号：TQ124.5+2

在线出版日期：2021-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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