高纯气体自动充装的研究与应用

摘要：

传统的高纯气体充装大多由"一"字型充装排与抽真空系统组成.这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题.重点针对上述问题在充装前氮气置换、抽真空,以及产品充装等一系列工作实施自动控制、精准充装方面进行了探讨,结合实际工作开发出了一套高纯气体自动化充装系统.

关键词：高纯气体、自动充装、研究、应用

所属期刊栏目：39

分类号：TQ117

在线出版日期：2021-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18