10.3969/j.issn.1007-7804.2020.04.008
高纯气体中微量杂质分析方法
主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了微量杂质分析存在的不足以及今后的发展重点.
高纯气体、微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量
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TQ116.02
2020-09-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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高纯气体、微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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