电子级氯化氢精制工艺的研究进展

摘要：

电子级氯化氢是电子工业常用的高纯化学气体,随着集成电路的快速发展,对氯化氢的杂质含量要求越来越严格.简述了电子级氯化氢的主要用途和现状,简介了工业级氯化氢的生产方法,介绍了电子级氯化氢生产过程中各种精制方法及其研究进展,主要是低温精馏法、吸附法和化学反应法.最后对三种方法进行了讨论和对比,指出了精制工艺的研究重点是针对其中不同的微量杂质选用不同的工艺或工艺组合,并展望了电子级氯化氢的国产化前景.

关键词：氯化氢、电子级氯化氢、精制、提纯

所属期刊栏目：38

分类号：TQ124.42;TQ110.6

在线出版日期：2020-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4