气相色谱—质谱联用法对电子气中痕量氟化物的定性与定量

摘要：

使用气相色谱—质谱联用法,采用全扫描模式,采取提取特征离子的方式对原始谱图进行处理,建立了电子气中微痕量氟化物杂质的定性、定量方法.检测限低、灵敏度高,单次进样,便可实现对多种氟化物杂质的定性和定量,且不受主成分的影响,是分析电子气中微痕量氟化物杂质高效精确的分析方法.

关键词：气相色谱—质谱联用法、氟化物、特征离子、定性、定量

所属期刊栏目：37

分类号：TQ117;O657.63

在线出版日期：2019-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：35-40