10.3969/j.issn.1007-7804.2019.05.005
三氯化硼的制备和纯化研究综述
三氯化硼在精细化学品、航空航天、材料加工及半导体领域具有不可替代的作用.三氯化硼在大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用,其纯度与质量要求较为严格.详尽地将三氯化硼的制备和纯化方法进行了归纳与总结,并追踪了近几年的工艺发展,认为在现有传统三氯化硼生产工艺基础上进行改进,降低能耗、提高合成选择性、提高安全性能与提高传质效率是三氯化硼生产的发展趋势.期待为国内高纯三氯化硼的研发和生产提供借鉴作用,从根本上解决高纯三氯化硼依赖进口、受制于人的被动局面.
三氯化硼、合成、纯化
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TQ117
2019-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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