P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中 微量永久性气体杂质的应用

摘要：

介绍了P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用.P5100系列氦离子色谱仪采用三阀三柱设计,通过阀切换和选择性切割技术可一次进样同时分析H2、O2/Ar、N2、CH4、CO、CO2等永久性气体.同时可实现对上述种类气体的高纯气体中微量永久性杂质的有效分析.CO2、H2、O2/Ar、N2、CH4、CO的最低检出限(×10-6)分别为0.0291、0.0183、0.0192、0.0187、0.0195、0.0273,满足高纯气体中微量杂质的分析要求.

关键词：氦离子化检测器、高纯气体检测、永久性气体

所属期刊栏目：37

分类号：O657.7;TQ117(分析化学)

在线出版日期：2019-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45