高纯电子级 SiF4 中氟硅醚阻聚剂的设计及其性能

摘要：

在高纯电子级四氟化硅生产与纯化中,很容易产生氟硅醚杂质,甚至可以与四氟化硅进一步聚合生成氟硅醚高聚物.该高聚物可从胶体迅速聚集成颗粒,很容易堵塞管道和吸附剂,极易发生安全事故.根据硅醚键氟化断裂的化学性质,设计了一系列基于金属氟化物组成的氟硅醚阻聚剂.结果显示,AgF2 阻聚剂具有阻聚热力学效率高、动力学速率快的特点,可以使氟硅醚杂质有效控制浓度在20×10 －6以下.四氟化硅重复50次(每次用量10kg)通过AgF2 阻聚剂仍然具有优秀的阻聚性能,故该阻聚剂具有良好的长期稳定性.

关键词：四氟化硅、阻聚、硅醚、纯化

所属期刊栏目：37

分类号：TQ117

在线出版日期：2019-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10