八氟环丁烷的纯化技术研究进展

摘要：

随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻.总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点.在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷.此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展.

关键词：八氟环丁烷、纯化技术、电子气体

所属期刊栏目：37

分类号：TQ117

在线出版日期：2019-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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