发展中的中国特种气体

摘要：

介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性.

关键词：电子特气、电子硅烷、电子乙硼烷、电子磷烷、标准气体

所属期刊栏目：36

分类号：TQ117

在线出版日期：2019-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5