高纯氟甲烷中杂质含量色谱分析

摘要：

高纯氟甲烷作为新型的含氟电子气体,常温下是一种无毒、无色、无嗅、可燃的存储在钢瓶中的液化气体.一氟甲烷作为刻蚀气体对纯度要求甚为严格,往往需要大于99.99% ,甚至99.999% .探讨了高纯氟甲烷的杂质含量分析方法,采用高灵敏度的氦离子化放电检测器(DID),高效的色谱柱系统,实现了对其中杂质含量的分析.

关键词：高纯氟甲烷、DID检测器、气相色谱仪

所属期刊栏目：36

分类号：TQ117

在线出版日期：2018-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48