10.3969/j.issn.1007-7804.2018.03.012
高纯氟甲烷中杂质含量色谱分析
高纯氟甲烷作为新型的含氟电子气体,常温下是一种无毒、无色、无嗅、可燃的存储在钢瓶中的液化气体.一氟甲烷作为刻蚀气体对纯度要求甚为严格,往往需要大于99.99% ,甚至99.999% .探讨了高纯氟甲烷的杂质含量分析方法,采用高灵敏度的氦离子化放电检测器(DID),高效的色谱柱系统,实现了对其中杂质含量的分析.
高纯氟甲烷、DID检测器、气相色谱仪
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TQ117
2018-08-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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