PLASMADETEK-PED等离子发射气相色谱仪在半导体工业的10-9级气体分析应用

摘要：

等离子发射检测器(Plasma Emission Detector)是一种应用于气相色谱仪的新型检测器.等离子体(plasma)不是一种新技术,早在20世纪30年代已经产生,到20世纪70年代随着电子和材料科学的发展,等离子体技术取得了较大的发展,在基础工业和高科技领域获得了广泛的应用.PlasmaDetek是一种超高灵敏度的检测器,可以很好地解决一般高纯气体或者混合气体的微量痕量分析,加拿大LDetek仪器公司团队经过近20年的探索,Plasma在特气和半导体气体方面也得到了越来越广泛的应用,并且取得了非常好的效果.

关键词：等离子发射检测器、等离子体、气相色谱仪、滤光片、超高灵敏度

所属期刊栏目：35

分类号：TQ117;O657.7

在线出版日期：2017-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：38-44