10.3969/j.issn.1007-7804.2016.06.001
2016:中国气体
对2016年中国气体尤其是电子气体的发展进行了回顾。经过危机的洗礼,我国气体逆流而上,在某些关键性的气体品种上取得了可喜的业绩,实现了产能与质量的双飞跃,经过多年的努力,我国在电子特气领域的空白不断在填补,和国外发达国家的差距也不断在缩小。同时我们也要充分认识到在创先方面仍要做大量细致的工作,只有成为科技的跟随者成为领跑者我们才能成为气体的强国。
气体、砷烷、笑气、高纯氨、高纯氯、高纯硅烷
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TQ117
2017-02-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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