2015中国气体

摘要：

回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测.提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对于我国各类主要电子气体同发达国家的差距做了详细的分析.

关键词：电子气体、标准气体、硅烷、高纯笑气、砷烷、锗烷、高纯氯气、高纯氨气

所属期刊栏目：33

分类号：TQ117

在线出版日期：2016-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,18