10.3969/j.issn.1007-7804.2015.02.001
电子气体净化器现状与趋势
电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。
净化器、电子气体、在线净化、净化材料、痕量杂质
TQ117
2015-05-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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净化器、电子气体、在线净化、净化材料、痕量杂质
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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