四阀四柱分析流程在检测含氟特种气体中杂质的应用与探索

摘要：

近些年来含氟特种气体市场需求不断的加大,高纯含氟气体生产工艺数据的分析与产品质量的检测对氦离子气相色谱仪提出了更高的要求,本公司就CF4中NF3杂质及SF6中O2 、N2、CF4、CH4、C2 F6、SO2F2、C3F8等杂质检测在GC-126PDD四阀四柱分析流程上得到很好的解决.

关键词：预分离柱、Hayesep R填充柱、NF3杂质、六氟化硫(SF6)中杂质、PDHID氦离子化检测器

所属期刊栏目：32

分类号：TQ117

在线出版日期：2015-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：31-36,49