浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术

摘要：

对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求.

关键词：八氟环丁烷、纯化、精馏吸附

所属期刊栏目：32

分类号：TQ117

在线出版日期：2015-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30