六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势

摘要：

介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较.六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面.优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体.

关键词：电子气体、全氟-1、3-丁二烯、纯化、吸附

所属期刊栏目：32

分类号：TQ117

资助基金：浙江省科技计划项目2011F10061

在线出版日期：2015-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：23-27