10.3969/j.issn.1007-7804.2014.04.004
耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制
采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层.通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀,能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命.
特种气体、真空泵、腐蚀、防护涂层
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TB752(真空技术)
2014-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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