超纯电子混合气体及标准气体的配制技术

摘要：

介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题.并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析.

关键词：混合气、电子气、配气装置、超纯气体、磷烷、硅烷、乙硼烷、分析

所属期刊栏目：32

分类号：TQ117

在线出版日期：2014-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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