10.3969/j.issn.1007-7804.2013.05.005
六氟化钨中杂质含量的测定
介绍了一种利用氦离子化检测器(PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法.经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度.
氦离子化检测器、傅立叶红外光谱检测器、六氟化钨
31
TN304(半导体技术)
2013-11-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
21-25
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1007-7804.2013.05.005
氦离子化检测器、傅立叶红外光谱检测器、六氟化钨
31
TN304(半导体技术)
2013-11-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
21-25
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn