MOCVD尾气中氨气吸附回收的探讨与研究

摘要：

主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果.通过实验,研究了氯化钙状态、氨气分压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响.当使用粉末状氯化钙、氨气分压大于4 bar(1 bar =0.1MPa),初始纯度大于20％时,氨气吸附比达到5.8,回收率达到99.5％以上,回收的纯度达到99％以上.测试了氯化钙的吸附寿命,200次吸脱附氨气后吸脱附比只下降4％左右.

关键词：MOCVD、氨气、吸附、回收

所属期刊栏目：31

分类号：TH49(气体压缩与输送机械)

在线出版日期：2013-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-16