10.3969/j.issn.1007-7804.2013.01.001
含氟电子气体研究进展
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂.综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考.
电子气体、清洗剂、氟化工、半导体
31
F426.7(中国工业经济)
2013-04-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2013.01.001
电子气体、清洗剂、氟化工、半导体
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F426.7(中国工业经济)
2013-04-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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