10.3969/j.issn.1007-7804.2012.06.009
硒化氢的性质及制备方法
硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气.由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料.介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价.
硒化氢、硒化锌、硒化铝、制备
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TQ117
2013-02-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2012.06.009
硒化氢、硒化锌、硒化铝、制备
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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