多晶硅生产中氢气的来源与净化

摘要：

简述了多晶硅生产过程中氢气的几个来源,并比较了采用电解、裂解或工业尾气净化回收氢气作为多晶硅生产补充氢气来源的技术、经济性.提出了采用特定吸附剂,变压吸附净化回收可重复利用氢气的新方法.对比了几种氢气的净化回收技术的优势,认为采用变压吸附(PSA)氢气净化工艺过程最优,能耗最低,经济效益最好.

关键词：多晶硅、变压吸附、净化回收、氢源

所属期刊栏目：30

分类号：TQ116.20

在线出版日期：2013-02-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：21-23