气体中微量氧分析测试方法综述

摘要：

概述了气体中各种微量氧分析测试方法的原理、适用场合及分析注意事项,并列举了工业产品生产许可证中气体产品相关检测标准规定的分析方法及检测限要求,为气体生产及气体分析工作者提供了技术参考.

关键词：微量氧分析、高纯气体、电子工业用气体、检测限

所属期刊栏目：30

分类号：TB933(计量学)

在线出版日期：2012-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4