用氦离子化(DID)气相色谱仪分析高纯四氟化碳

摘要：

介绍了一种利用氦离子化检测器(DID)分析高纯四氟化碳中微量氧气、氮气、二氧化碳和六氟乙烷的方法.利用阀切割技术能够将大量的四氟化碳主成分切割,使其不进入检测器系统.该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6,经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度.

关键词：氦离子化检测器、四氟化碳、阀切割

所属期刊栏目：29

分类号：TH833

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38