高纯氖中杂质含量的测定

摘要：

介绍了一种利用热导检测器(TCD)、氧化锆检测器(ZrO2D)、脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析高纯氖中微量氦、氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷的方法.经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度.

关键词：热导检测器、氧化锆检测器、脉冲放电氦离子化检测器、高纯氖

所属期刊栏目：29

分类号：TQ117

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-34,38