氦离子色谱仪在四氟化碳分析中的应用

摘要：

采用氦离子检测器(PDHID)及以热导检测器(TCD)与火焰离子化检测器(FID)组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳 (CF4) 中的杂质,结果表明氦离子化检测器(PDHID)灵敏度更高,检测限更低,更适用于电子气体CF4的检测.

关键词：气相色谱仪、电子气体、四氟化碳、氦离子色谱法、检测

所属期刊栏目：28

分类号：TQ117

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43