国内高纯气体应用现状

摘要：

阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为"零点气"的应用.

关键词：高纯气体、电子工业、质量保证、"零点"气体

所属期刊栏目：28

分类号：TQ117

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-9,22