10.3969/j.issn.1007-7804.2009.03.004
电子级特种气体输送系统质量控制
主要介绍应用在半导体行业电子级特种气体输送系统质量控制的要点及其涉及到的检测仪器的工作原理,结合目前行业内气体输送系统质量控制的方法做概括性介绍.
特种气体输送系统、质量控制、检测仪器
27
TQ117
2009-07-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
18-19,45
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10.3969/j.issn.1007-7804.2009.03.004
特种气体输送系统、质量控制、检测仪器
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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