气相色谱/质谱法测定三氟化氮中痕量一氧化二氮

摘要：

建立了测定高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法.采用Porapak Q PLOT毛细管色谱柱(30 m×0.32 mm ×5 μm),以m/z＝44作为定量选择离子.同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况.方法在浓度为(5~100)×10-6(摩尔分数)范围内与峰面积呈线性关系,线性相关系数r=0.999,最低检测限为1×10-6(摩尔分数).平均加标回收率为90.20%~97.05%,测定相对标准偏差(RSD)<5.33%.

关键词：气相色谱/质谱法、测定、三氟化氮、一氧化二氮

所属期刊栏目：27

分类号：TQ116.02

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31