10.3969/j.issn.1007-7804.2009.02.001
特种气体在电子行业中的应用
论述了特种气体在集成电路、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光纤预制棒等电子行业中的应用,并就其使用安全提出了建议.
特种气体、电子、半导体、应用、安全
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TQ117
2009-05-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2009.02.001
特种气体、电子、半导体、应用、安全
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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