10.3969/j.issn.1007-7804.2008.04.001
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料
分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法.
电子气体、砷烷、硅烷、合成、净化、分析
26
TQ117
2008-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2008.04.001
电子气体、砷烷、硅烷、合成、净化、分析
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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