电子气体主要杂质分析方法综述

摘要：

概述了电子气体的种类、纯度以及其应用状况,综述了电子气体中几种常见杂质不同的分析方法以及特殊气体的不同处理方法,指出了电子气体分析方法的重要意义及发展前景.

关键词：电子气体、分析方法、气相色谱、纯净度

所属期刊栏目：26

分类号：TQ117

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：13-18