10.3969/j.issn.1007-7804.2006.06.007
我国超纯砷烷产业化生产技术研究
砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志.超纯砷烷的产业化技术,涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多专业,为发展我国IC产业,尽快开展超纯砷烷产业化技术研究意义重大.
砷烷、合成、净化
24
TQ117
国家资金重点支持课题
2007-03-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
24-27
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1007-7804.2006.06.007
砷烷、合成、净化
24
TQ117
国家资金重点支持课题
2007-03-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
24-27
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn