10.3969/j.issn.1007-7804.2006.04.009
三氟化氮——一种新型干蚀刻气
通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻速率时.在通常条件下,可进行方便的管理.
三氟化氮、蚀刻剂
24
TQ117
2006-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
28-30,38
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10.3969/j.issn.1007-7804.2006.04.009
三氟化氮、蚀刻剂
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TQ117
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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