10.3969/j.issn.1007-7804.2005.06.001
敢问中国电子气体路在何方
对中国电子气体的历史进行了回顾,通过对某些具有代表性的电子气体的描述,可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距.对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析.
电子气体、VLSI、ULSI
23
TQ117
2006-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2005.06.001
电子气体、VLSI、ULSI
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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